Sistema microelectromecànic
Sistema microelectromecànic (MEMS acrònim anglès) és un sistema de tecnologia de dispositius microscòpics amb components entre 1 i 100 micròmetres, integrats juntament amb components electrònics per a processar la informació. Aquests dispositius micromecànics poden ser palanques, molles, membranes deformables, estructures vibrants, etc. [1][2]
Es poden trobar aplicacions en biomedicina, automòbil, electrònica de consum i industrial i sensòrica (sensors de força, pressió, moviment, so...) en general.[3]
Contingut
Material per a fabricar MEMS[modifica]
- Silici : el més emprat en circuits electrònics.[4]
- Polímers : materials plàstics especials.
- Metalls : s'empren or, níquel, alumini, crom, titani, plata i platí.
Procesos per a fabricar MEMS[modifica]
- Procesos de deposició de pel·lícules de gruix micromètric.[5]
- Procesos de fotolitografia de transferència d'un patró a un material fotosensible.
- Procesos de gravat de patrons mitjançants líquids i vapors químics.
Aplicacions[modifica]
- Injectors MEMS piezoelèctrics per a impressores d'injecció de tinta.[6]
- Acceleròmetres MEMS per a sistemes airbag en automòbils.
- Acceleròmetres MEMS per telèfons mòbils, cònsoles de joc, càmares de fotografia.
- Giroscopi MEMS per a detectar orientacions.
- Sensors de pressió MEMS en múltiples aplicacions : pressió atmosfèrica, pressió pneumàtics, pressió arterial...
- Micromiralls MEMS per a projectors d'imatges o vídeo.
- Punts MEMS per a pantalles de visualització.
- Sensor de pressió sonora per a micròfons de telèfons mòbils i similars.
- Oscil.ladors MEMS per a patrons de rellotge.
- Actuador lineal MEMS per a sistemes de posicionament.
- Sensors de gas : CO2, gasos de compostos orgànics (VOC)
Fabricants de MEMS[modifica]
Més destacats a 06/04/2017:
- Micròfons de ST, kmowles, AKUSTICA, Cirrus logic, JRC, vesper
- Acceleròmetres, giroscopis i sensors inercials d'Analog devices, ST, Colibrys, maxim, Memsic
- Sensors de corrent de Memsic
- Sensors de temperatura de TI,Omron
- Càmara infrarroja d'Omron,Panasonic
- Micromiralls d'intersil,Microvision
- Oscil.ladors de sitime
- Commutadors d'Analog devices
- Detectors de gas d'ams
Enllaços externs[modifica]
Enllaços als fabricants : ST, knowles, AKUSTICA, Cirrus logic, JRC, vesper,Analog devices, Colibrys, maxim, Memsic, Omron, Panasonic, intersil, Microvision,sitime,TI
Referències[modifica]
- ↑ «What is MEMS Technology?». [Consulta: 25 gener 2017].
- ↑ «What is MEMS? - MEMS & Sensors Industry Group». [Consulta: 25 gener 2017].
- ↑ «MEMS Journal -- The Largest MEMS Publication in the World». [Consulta: 25 gener 2017].
- ↑ «Materials MEMS» (en anglès). [Consulta: 25 gener 2017].
- ↑ «Fabricating MEMS and Nanotechnology». [Consulta: 25 gener 2017].
- ↑ «Introduction and application areas for MEMS». [Consulta: 25 gener 2017].
