Vés al contingut

Fitxer:EUV issues chart.png

El contingut de la pàgina no s'admet en altres llengües.
De la Viquipèdia, l'enciclopèdia lliure

Fitxer original ‎(2.473 × 386 píxels, mida del fitxer: 31 Ko, tipus MIME: image/png)

Descripció a Commons

Resum

Descripció
English: This chart shows the current issues facing EUV.[1][2][3][4][5][6][7][8][9][10][11][12] There are significant differences from DUV (ArF laser wavelength corresponds to 6.4 eV). The red indicates a tradeoff is involved, for cross-slit rotation and photoelectrons/secondary electrons.
Data
Font Excel drawing
Autor Guiding light
Aquesta imatge (de tipus diagrama) s'hauria de tornar a crear utilitzant gràfics vectorials com ara un fitxer SVG. Això té diversos avantatges; en trobareu més informació a Commons:Media for cleanup. Si ja disposeu d'una versió d'aquesta imatge en format SVG, us preguem que la pengeu; després, reemplaceu aquesta plantilla amb la plantilla {{Vector version available|nom nou de la imatge.svg}} en aquesta imatge.

Llicència

Jo, el titular dels drets d'autor d'aquest treball, el public sota les següents llicències:
GNU head S'autoritza la còpia, la distribució i la modificació d'aquest document sota els termes de la llicència de documentació lliure GNU versió 1.2 o qualsevol altra versió posterior que publiqui la Free Software Foundation; sense seccions invariants, ni textos de portada, ni textos de contraportada. S'inclou una còpia d'aquesta llicència en la secció titulada GNU Free Documentation License.
w:ca:Creative Commons
reconeixement compartir igual
This file is licensed under the Creative Commons Attribution-Share Alike 4.0 International license.
Sou lliure de:
  • compartir – copiar, distribuir i comunicar públicament l'obra
  • adaptar – fer-ne obres derivades
Amb les condicions següents:
  • reconeixement – Heu de donar la informació adequada sobre l'autor, proporcionar un enllaç a la llicència i indicar si s'han realitzat canvis. Podeu fer-ho amb qualsevol mitjà raonable, però de cap manera no suggereixi que l'autor us dóna suport o aprova l'ús que en feu.
  • compartir igual – Si modifiqueu, transformeu, o generareu amb el material, haureu de distribuir les vostres contribucions sota una llicència similar o una de compatible com l'original
Podeu seleccionar la llicència que vulgueu.

References

  1. ↑ M. van de Kerkhof, "Understanding EUV-induced plasma and application to particle contamination control in EUV scanners," Proc. SPIE 11323, 113230Y (2020).
  2. ↑ A. V. Pret et al., "Non-Gaussian CD distribution characterization for DRAM application in EUV lithography," Proc. SPIE 10809, 108090A (2018).
  3. ↑ P. J. van Zwol et al., "Pellicle films supporting the ramp to HVM with EUV," Proc. SPIE 10451, 104510O (2017).
  4. ↑ From Shot Noise to Stochastic Defects: Dose-Dependent Gaussian Blur in Lithography
  5. ↑ P. de Schepper et al., "XAS photoresists electron/quantum yields study with synchrotron light," Proc. SPIE 9425, 942507(2015).
  6. ↑ Measuring EUV Secondary Electron Blur
  7. ↑ J. Finders et al., "Contrast optimization for 0.33 NA EUV Lithography," Proc. SPIE 9776, 97761P (2016).
  8. ↑ The Need for Low Pupil Fill in EUV Lithography
  9. ↑ N. Davydova et al., "EUVL mask performance and optimization," Proc. SPIE 8352, 835208 (2012).
  10. ↑ L. de Winter et al., "Understanding the Litho-impact of phase due to 3D-mask effects when using off-axis illumination," Proc. SPIE 9661, 96610A (2015).
  11. ↑ Preparing for the Next Generation of EUV Lithography at the Center for X-ray Optics
  12. ↑ I-S. Kim et al., Microel. Eng. 177, 35 (2017).

Llegendes

Afegeix una explicació d'una línia del que representa aquest fitxer

Elements representats en aquest fitxer

representa l'entitat

Historial del fitxer

Cliqueu una data/hora per veure el fitxer tal com era aleshores.

Data/horaMiniaturaDimensionsUsuari/aComentari
actual15:46, 2 nov 2020Miniatura per a la versió del 15:46, 2 nov 20202.473 × 386 (31 Ko)Guiding lightpellicle distortion tradeoff
03:52, 23 set 2020Miniatura per a la versió del 03:52, 23 set 20201.562 × 248 (17 Ko)Guiding light
03:27, 23 set 2020Miniatura per a la versió del 03:27, 23 set 20201.528 × 262 (17 Ko)Guiding lightUploading a self-made file using File Upload Wizard

La pàgina següent utilitza aquest fitxer:

Metadades

Aquest fitxer conté informació addicional, probablement afegida per la càmera digital o l'escàner utilitzat per a crear-lo o digitalitzar-lo. Si s'ha modificat posteriorment, alguns detalls poden no reflectir les dades reals del fitxer modificat.

Obtingut de «https://ca.wikipedia.org/wiki/Fitxer:EUV_issues_chart.png»